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一、傳統(tǒng)的磁檢測中首先被采用的是電感線圈為敏感元件。 特點(diǎn)正是無須在線圈中通電,一般僅對運(yùn)動中的永磁體或電流載體起敏感作用。后來發(fā)展為用線圈組成振蕩槽路的。 如探雷器, 金屬異物探測器,測磁通的磁通計(jì)等. (磁通門,振動樣品磁強(qiáng)計(jì))。 二, 霍爾傳感器 霍爾傳感器是依據(jù)霍爾效應(yīng)制成的器件。 霍爾效應(yīng):通電的載體在受到垂直于載體平面的外磁場作用時,則載流子受到洛倫茲力的作用, 并有向兩邊聚集的傾向,由于自由電子的聚集(一邊多一邊必然少)從而形成電勢差, 在經(jīng)過特殊工藝制備的半導(dǎo)體材料這種效應(yīng)更為顯著。從而形成了霍爾元件。早期的霍爾效應(yīng)的材料Insb(銻化銦)。為增強(qiáng)對磁場的敏感度,在材料方面半導(dǎo)體IIIV 元素族都有所應(yīng)用。近年來,除Insb之外,有硅襯底的,也有砷化鎵的?;魻柶骷捎谄涔ぷ鳈C(jī)理的原因都制成全橋路器件,其內(nèi)阻大約都在150Ω~500Ω之間。對線性傳感器工作電流大約在2~10ma左右,一般采用恒流供電法。 Insb與硅襯底霍爾器件典型工作電流為10mA。而砷化鎵典型工作電流為2 mA。作為低弱磁場測量,我們希望傳感器自身所需的工作電流越低越好。(因?yàn)殡娫粗車从写艌觯筒煌潭纫M(jìn)誤差。另外,目前的傳感器對溫度很敏感,通的電流大了,有一個自身加熱問題。(溫升)就造成傳感器的零漂。這些方面除外附補(bǔ)償電路外,在材料方面也在不斷的進(jìn)行改進(jìn)。 霍爾傳感器主要有兩大類,一類為開關(guān)型器件,一類為線性霍爾器件,從結(jié)構(gòu)形式(品種)及用量、產(chǎn)量前者大于后者?;魻柶骷捻憫?yīng)速度大約在1us 量級。
三,磁阻傳感器 磁阻傳感器,磁敏二極管等是繼霍爾傳感器后派生出的另一種磁敏傳感器。采用的半導(dǎo)體材料于霍爾大體相同。但這種傳感器對磁場的作用機(jī)理不同,傳感器內(nèi)載流子運(yùn)動方向與被檢磁場在一平面內(nèi)。(順便提醒一點(diǎn),霍爾效應(yīng)于磁阻效應(yīng)是并存的。在制造霍爾器件時應(yīng)努力減少磁阻效應(yīng)的影響,而制造磁阻器件時努力避免霍爾效應(yīng)(在計(jì)算公式中,互為非線性項(xiàng))。在磁阻器件應(yīng)用中,溫度漂移的控制也是主要矛盾,在器件制備方面,磁阻器件由于與霍爾不同,因此,早期的產(chǎn)品為單只磁敏電阻。由于溫度漂移大,現(xiàn)在多制成單臂(兩只磁敏電阻串聯(lián))主要是為補(bǔ)償溫度漂移。目前也有全橋產(chǎn)品,但用法(目的)與霍爾器件略有差異。據(jù)報(bào)導(dǎo)磁阻器件的響應(yīng)速度同霍爾1uS量級。 磁阻傳感器由于工作機(jī)理不同于霍爾,因而供電也不同,而是采用恒壓源(但也需要一定的電流)供電。當(dāng)后續(xù)電路不同對供電電源的穩(wěn)定性及內(nèi)部噪聲要求高低有所不同。 四, 磁敏器件應(yīng)用的問題 磁敏器件(單元)體積問題: 在磁敏元件作為檢測磁場而設(shè)計(jì)和制造的 ,一般檢測的概念是:測量磁場中某一點(diǎn)的磁性。